EBSD技术最新进展及其在相变存储关键材料中的应用

课程简介

随着EBSD技术的不断发展和普及，传统的CCD-EBSD探测器已不能完全满足广大科研工作者和工业用户的使用需求。作为科学仪器行业比较先进的高科技系统设备和技术解决方案供应商，牛津仪器于2017年开创性地发布了首台商用的基于CMOS成像技术的Symmetry探测器，并于2020年将该型号升级为Symmetry S2。

在本次网络研讨会中，我们有幸邀请到华东师范大学电子科学系的成岩副教授，为大家带来关于相变存储关键材料的结构转变的学术报告。此外，牛津仪器的应用专家将结合EBSD技术的发展史，详细介绍牛津仪器推出的第二代CMOS-EBSD探测器能为大家的科研工作带来哪些革命性的帮助。

主讲人成岩

华东师范大学电子科学系副教授、博士生导师。2011-2017年，中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室，历任博士后、副研究员、国重实验室主任助理。2017.12至今，华东师范大学电子科学系&极化材料与器件教育部重点实验室&校公共创新服务平台电镜中心。在集成电路关键材料和器件的先进表征技术领域开展了一系列研究工作，主持和参与包括国家02集成电路重大专项和国家重点基础研发计划在内的重要科研项目10余项，在Nat. Commun.、VLSI等期刊和会议发表论文90余篇，获授权国家发明专利6项。

主讲人王汉霄

2021年获英国曼彻斯特大学博士学位，随后加入牛津仪器纳米分析部，负责EDS、EBSD和OmniProbe的技术推广与应用支持。博士期间主要通过HRDIC、EBSD和ECCI联用来研究金属材料在亚微米尺度的塑性变形行为。

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