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Qu’est-ce que l’EDS ? - Introduction

07-08-2020 | Auteure : Dr. Brooke Matat Jablon

La spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs EDS d'Oxford Instruments fonctionnent sur la plateforme logicielle AZtec, un système révolutionnaire de caractérisation des matériaux qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette série de blogs servira d'introduction à l'EDS et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets.

La spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS) est une technique analytique utilisée pour caractériser la composition chimique des matériaux. Lorsqu'un matériau est stimulé par une source, un faisceau d'électrons en EDS, un électron d'une couche plus basse peut être expulsé, créant un trou d'électrons. Un électron d'une couche supérieure peut remplir ce trou. La différence d'énergie entre la couche supérieure et la couche inférieure peut être libérée sous forme de rayons X. Les énergies des ces rayons X sont caractéristiques de la structure atomique de l'élément émetteur. En mesurant ces énergies l’EDS permet l'analyse de la composition élémentaire.

Le système EDS est composé d’un détecteur de rayons X, d’un processeur d'impulsions et de l'analyseur. Un détecteur convertit l'énergie des rayons X en tension; ces informations sont envoyées à un processeur d'impulsions, qui les mesure et les transmet à un analyseur pour l'affichage et l'analyse des données.

Les spectromètres EDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage, les microscopes électroniques en transmission et les microsondes. Pour en savoir plus sur l'EDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

Dr Brooke Matat Jablon,
Applications Scientist, Oxford Instruments

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About the Author


Dr Brooke Matat Jablon holds a Bachelors degree in Earth and Planetary Science from the Johns Hopkins University and an MSc in geology from the Hebrew University of Jerusalem. She worked as an EPMA lab manager (using EDS, WDS and cathodoluminescence imaging) before studying for a PhD in Physics (focusing on EBSD and ECCI) at the University of Strathclyde in Glasgow. She joined Oxford Instruments in 2020. Brooke’s application work today covers SEM-EDS, WDS, EBSD and TEM-EDS. She is currently the application scientist for Oxford Instruments NanoAnalysis in France. Check out her blogs in French here.

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